MSDS 요약: PMA / PGMEA / EL
본 문서는 반도체 공정용 주요 용제 3종의 물질안전보건자료(MSDS)를 요약한 것입니다.
참고용으로만 사용하며, 최신 공식 MSDS를 반드시 병행 확인하십시오.
1. PMA (Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate)
1.1 기본 정보
| 항목 |
내용 |
| 화학명 |
1-Methoxy-2-propyl acetate |
| CAS No. |
108-65-6 |
| 분자식 |
C₆H₁₂O₃ |
| 분자량 |
132.16 g/mol |
| 외관 |
무색 투명 액체 |
| 냄새 |
약한 에테르/에스테르 향 |
주의: PMA와 PGMEA는 동일 물질입니다. 업계에서는 제조사·용도에 따라 혼용되며, 본 문서에서는 구분 표기합니다.
1.2 물리·화학적 특성
| 항목 |
값 |
| 비점 |
146 °C |
| 융점 |
−87 °C |
| 인화점 |
43 °C (밀폐컵) |
| 발화점 |
270 °C |
| 증기압 |
3.7 mmHg @ 20 °C |
| 증기밀도 |
4.6 (공기 = 1) |
| 비중 |
0.966 g/mL @ 20 °C |
| 수용해도 |
부분 용해 |
| 폭발한계 |
1.0 – 8.0 vol% |
1.3 유해·위험성
| 구분 |
GHS 분류 |
| 인화성 액체 |
GHS02 — 구분 3 |
| 눈 자극 |
GHS07 — 구분 2 |
| 특정 표적 장기 독성 (단회) |
GHS08 — 구분 3 (마취 효과) |
- 증기 흡입 시 두통, 어지러움, 마취 증상
- 눈·피부 접촉 시 자극
- 생식독성 우려 (동물실험 참고)
1.4 응급조치
| 노출 경로 |
조치 |
| 흡입 |
신선한 공기로 이동, 증상 지속 시 의사 진찰 |
| 피부 |
오염 의복 제거 후 다량의 물로 세척 |
| 눈 |
흐르는 물로 15분 이상 세안, 즉시 의사 진찰 |
| 섭취 |
구토 유도 금지, 즉시 의사 진찰 |
1.5 취급·저장
- 점화원·열원으로부터 격리, 정전기 방지
- 밀폐 용기에 서늘하고 환기 좋은 장소 저장
- 산화제, 강산, 강염기와 격리
- 사용 구역 금연·금화기
1.6 누출 대응
- 점화원 제거 후 환기
- 모래, 흡수제로 회수 — 하수구·수계 유입 방지
- 폐기물 관련 법령에 따라 처리
1.7 노출 기준 및 보호구
| 항목 |
값 |
| ACGIH TLV-TWA |
50 ppm |
| OSHA PEL |
100 ppm |
| 호흡 보호구 |
유기증기 카트리지 방독마스크 |
| 눈 보호구 |
화학용 보안경 또는 페이스 실드 |
| 피부 보호구 |
내화학성 장갑 (니트릴 또는 부틸) |
2. PGMEA (Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate)
PMA와 동일 물질 (CAS 108-65-6).
반도체 포토레지스트 공정에서 주로 사용되는 명칭으로, 순도 및 금속 불순물 규격이 엄격하게 관리됩니다.
2.1 기본 정보
| 항목 |
내용 |
| 화학명 |
Propylene Glycol Methyl Ether Acetate |
| 별칭 |
PMA, PGMEA, 1-MPA |
| CAS No. |
108-65-6 |
| 주요 용도 |
포토레지스트 용제, 잉크, 코팅 |
| 등급 |
Electronic Grade (반도체 공정용) |
2.2 물리·화학적 특성
PMA 항목과 동일 (1.2 참조)
2.3 반도체 공정 관련 주의사항
| 항목 |
내용 |
| 금속 불순물 |
각 원소 < 1 ppb (Electronic Grade) |
| 수분 함량 |
< 50 ppm |
| 여과 |
사용 전 0.2 μm 필터 여과 권장 |
| 포장 |
N₂ 퍼징 밀봉 용기 사용 |
2.4 유해·위험성 (PMA와 동일)
GHS 분류, 응급조치, 취급·저장, 노출 기준 모두 PMA 항목(1.3 ~ 1.7) 동일 적용.
3. EL (Ethyl Lactate)
3.1 기본 정보
| 항목 |
내용 |
| 화학명 |
Ethyl (S)-(+)-Lactate (또는 Ethyl 2-hydroxypropanoate) |
| CAS No. |
97-64-3 |
| 분자식 |
C₅H₁₀O₃ |
| 분자량 |
118.13 g/mol |
| 외관 |
무색 투명 액체 |
| 냄새 |
약한 과일향 |
| 주요 용도 |
포토레지스트 용제, 세정제, 식품 향료 |
3.2 물리·화학적 특성
| 항목 |
값 |
| 비점 |
154 °C |
| 융점 |
−25 °C |
| 인화점 |
53 °C (밀폐컵) |
| 발화점 |
400 °C |
| 증기압 |
1.5 mmHg @ 20 °C |
| 증기밀도 |
4.1 (공기 = 1) |
| 비중 |
1.031 g/mL @ 20 °C |
| 수용해도 |
혼화성 (임의 비율) |
| 폭발한계 |
1.5 – 8.5 vol% |
3.3 유해·위험성
| 구분 |
GHS 분류 |
| 인화성 액체 |
GHS02 — 구분 3 |
| 눈 자극 |
GHS07 — 구분 2 |
- 비교적 낮은 독성 (생분해성 우수, 친환경 용제로 분류)
- 고농도 증기 장시간 흡입 시 두통, 어지러움
- 눈·피부 경도 자극
✅ EL은 FDA 승인 식품 첨가물(GRAS)이며, PGMEA 대비 독성·환경 부담이 낮아 그린 용제로 주목받습니다.
3.4 응급조치
| 노출 경로 |
조치 |
| 흡입 |
신선한 공기로 이동, 증상 지속 시 의사 진찰 |
| 피부 |
다량의 물과 비누로 세척 |
| 눈 |
흐르는 물로 15분 이상 세안 |
| 섭취 |
입 헹굼, 다량의 물 음용, 의사 진찰 |
3.5 취급·저장
- 점화원으로부터 격리, 통풍이 양호한 장소 저장
- 서늘하고 건조한 환경 (권장 보관 온도: 15 ~ 25 °C)
- 강산화제, 강알칼리와 격리
- 흡습성 있으므로 밀봉 보관
3.6 누출 대응
- 점화원 제거 후 환기
- 흡수제 또는 모래로 회수
- 물에 희석 가능하나 대량 유출 시 수계 오염 방지
3.7 노출 기준 및 보호구
| 항목 |
값 |
| ACGIH TLV |
설정 없음 (독성 낮음) |
| 호흡 보호구 |
유기증기 방독마스크 (고농도 작업 시) |
| 눈 보호구 |
화학용 보안경 |
| 피부 보호구 |
내화학성 장갑 (니트릴) |
4. 3종 비교 요약
| 항목 |
PMA / PGMEA |
EL |
| CAS No. |
108-65-6 |
97-64-3 |
| 비점 |
146 °C |
154 °C |
| 인화점 |
43 °C |
53 °C |
| 비중 |
0.966 |
1.031 |
| 수용해도 |
부분 용해 |
혼화성 |
| 증기압 (20 °C) |
3.7 mmHg |
1.5 mmHg |
| GHS 인화성 |
구분 3 |
구분 3 |
| 생식독성 우려 |
있음 (동물) |
없음 |
| 친환경성 |
보통 |
우수 (생분해성) |
| 반도체 용도 |
PR 용제, 현상 |
PR 용제, 세정 |
| TLV-TWA |
50 ppm |
미설정 |
5. 공통 비상 연락처
| 기관 |
연락처 |
| 화학물질안전원 (NICS) |
043-830-4000 |
| 119 (화재·응급) |
119 |
| 중독정보센터 |
1899-2252 |
작성 기준: GHS Rev.9, ACGIH 2023, 각 제조사 공개 SDS 기반 요약
최종 검토일: 2026-06-08
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