# 6-1차 플랜트 경비물 제거 공정

## 공정 개요

C-6111 증류탑에서 원료 분리 시 발생하는 경비물(Light Component)을 제거하여 전용 탱크로 배출하는 공정.
리플럭스 계통과 경비물 제거 계통이 P-6114 펌프를 공용으로 사용한다.

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## 공정 흐름도

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C-6111 (증류탑)
  │
  ├── 상부 기상 → E-6112 (기상물 액화)
  │                    │
  │                    ▼
  │                 D-6113 (리플럭스 드럼)
  │                    │
  │                    ▼
  │                 P-6114 (공용 펌프)
  │                    │
  │                    ├──→ FT-6113 → FICQ-6113 → FCV-6113 → C-6111 (리플럭스)
  │                    │
  │                    └──→ FT-6114 → FICQ-6114 → FCV-6114 → XV-6124 → T-6124 (경비물 배출)
  │
  ├── 미액화 가스 → VP-6117 (진공 펌프) → SC-6128 (VOC 스크러버)
  │
  └── 하부(중비물) → P-6116 → FCV-6116 (중비물 제거)
                  → P-6118 → FT-6118 → FCV-6118 (제품 추출)
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## 단계별 상세

### 1. 증류 분리 — C-6111

- 원료(일반상업용 물질)를 가열하여 **경비물(저비점)은 상부, 중비물(고비점)은 하부**로 분리하여 반도체급 물질 생산
- 탑 내 온도 구배 측정: TI-6111A(하부), TI-6111B(중부), TI-6111C(중상부), TI-6111D(상부)
- 진공압 제어: PICA-6111(C-6111 최상단), PI-6111B(중하부 VACUUM PRESSURE)

| 태그 | 설명 |
|------|------|
| TI-6111a | C-6111 BOT TEMP |
| TI-6111b | C-6111 MID LOW SIDE TEMP |
| TI-6111c | C-6111 MID HIGH SIDE TEMP |
| TI-6111d | C-6111 TOP TEMP |
| PICA-6111 | 탑 진공압 제어 |
| PI-6111 | VACUUM PRESSURE |

### 2. 기상물 액화 — E-6112

- C-6111 상부 기상물을 냉각수로 냉각하여 액체로 응축
- 응축된 액체는 D-6113(리플럭스 드럼)으로 낙하

### 3. 기액 분리 — D-6113

- 액화된 물질을 일시 저장하여, BUFFER DRUM으로 역할하며, 미액화 가스(Light Component) 처리 라인으로 배출
- 드럼 레벨 제어: LICA-6113(캐스케이드, LICA-6113.OP → FICQ-6114.SP)

| 태그 | 설명 |
|------|------|
| LI-6113 | D-6113 LEVEL |
| LICA-6113 | LT-6113 → FICQ-6114 캐스케이드 |

### 4. 펌프 이송 — P-6114

**공용 펌프**: C-6111/리플럭스 순환 라인과 경비물 제거 라인을 동시에 담당.

#### 4a. 리플럭스 라인 (→ C-6111)
- **FT-6113** → **FICQ-6113** → **FCV-6113** → C-6111 상부 환류
- 액화된 물질 중 대부분을 탑 상부로 되돌려 컬럼 내의 제품 농도를 일정하게 유지.

| 태그 | 설명 |
|------|------|
| FICQ-6113 | C-6111/리플럭스 유량 제어 (FT-6113 → FCV-6113) |

#### 4b. 경비물 제거 라인 (→ T-6124)
- **FT-6114** → **FICQ-6114** → **FCV-6114** → **XV-6124** → T-6124
- FICQ-6114의 유량 설정(SP)은 LICA-6113(드럼 레벨)의 출력으로 캐스케이드 변경됨
- XV-6124: P-6114 → T-6124 선택밸브(OPEN 시 경비물 배출)
- T-6124: PGMEA 제품 저장탱크

| 태그 | 설명 |
|------|------|
| FICQ-6114 | 경비물 유량 제어 (FT-6114 → FCV-6114) |
| FT-6114 | 경비물 유량 측정 |
| FCV-6114 | 경비물 유량 제어밸브 |
| XV-6124 | P-6114 → T-6124 배출 선택밸브 |
| LI-6124 | T-6124 레벨 |
| TI-6123 | T-6123 TEMP |

### 5. 미액화 가스 처리 — VP-6117 → SC-6128

- D-6113에서 **VP-6117(진공 펌프)**로 진공 감압 흡입시 함께 흡입된 미액화가스를
- **SC-6128(VOC 스크러버)**로 이송하여 환경 배출 기준에 맞게 처리

| 태그 | 설명 |
|------|------|
| VP-6117 | 진공 펌프 |
| LI-6128 | SCRUBBER SC-6128 |
| LICA-6128 | SC-6128 레벨 제어 |
| P-6128A, P-6128B | SC-6128 하부 VOC 처리액 순환 펌프 |

### 6. 하부(중비물) 공정

#### 중비물 제거 — P-6116
- C-6111 하부 축적물(중비물)을 순환 및 제거
- P-6116: C-6111 하부 → C-6111(킥백 라인) + FCV-6116(제거 라인)

| 태그 | 설명 |
|------|------|
| FICQ-6116 | C-6111 / 중비물 제거 유량 제어 (FT-6116 → FCV-6116) |
| P-6116 | C-6111 하부 순환 및 중비물 제거 펌프 |

#### 제품 추출 — P-6118
- C-6111에서 분리 정제된 제품을 중상단 제품 추출 라인에서 이송
- P-6118: E-6117 → FT-6118 → FCV-6118

| 태그 | 설명 |
|------|------|
| FICQ-6118 | 제품 추출 유량 제어 (FT-6118 → FCV-6118) |
| P-6118 | 제품 이송 펌프 |
| TI-6117 | E-6117 TEMP |

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## 주요 제어 계통

| 제어기 | 태그 | 역할 | 센서 → 조작단 |
|--------|------|------|---------------|
| 드럼 레벨 제어 | LICA-6113 | D-6113 레벨 유지 (캐스케이드) | LT-6113 → FICQ-6114.SP |
| 리플럭스 유량 제어 | FICQ-6113 | C-6111 환류량 제어 | FT-6113 → FCV-6113 |
| 경비물 유량 제어 | FICQ-6114 | 경비물 배출량 제어 | FT-6114 → FCV-6114 |
| 중비물 유량 제어 | FICQ-6116 | 중비물 제거량 제어 | FT-6116 → FCV-6116 |
| 제품 추출 유량 제어 | FICQ-6118 | 제품 이송량 제어 | FT-6118 → FCV-6118 |
| 탑 진공압 제어 | PICA-6111 | C-6111 진공압 유지 | PT-6111 → PCV-6111 |
| 스크러버 레벨 제어 | LICA-6128 | SC-6128 레벨 유지 | LT-6128 → LCV-6128 |

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## 배출 밸브 계통 (XV)

| 태그 | 설명 |
|------|------|
| XV-6121 | 출하 라인 / T-6121 |
| XV-6122 | 출하 라인 / T-6122 |
| XV-6123 | P-6128 → T-6123 |
| XV-6124 | P-6114 → T-6124 (경비물 배출) |
| XV-6125a/b | (PGMEA 저장탱크 계통) |
| XV-6126a/b | (PGMEA 저장탱크 계통) |
| XV-6127 | (PGMEA 저장탱크 계통) |

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## 참고: 원료 투입 경로

| 경로 | 태그 | 설명 |
|------|------|------|
| 원료 이송 1 | P-6201 | T-203/T-204 → F-6101A/B, F-6201A/B (P6-1/P6-2 공용) |
| 원료 이송 2 | P-6102 | IBC Tank → F-6101A/B |
| 원료 유량 | FICQ-6101 | FT-6101 → FCV-6101 |